浦東半導體無(wú)塵車(chē)間裝修設計及注意事項

2021年,全世界經(jīng)濟經(jīng)歷了疫情的嚴肅考驗,伴隨著(zhù)后疫情時(shí)代的到來(lái),中國經(jīng)濟向好的新一輪工業(yè)革命浪潮正迅猛推進(jìn),同時(shí)極大地促進(jìn)了中國半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)的革新,無(wú)論是從科技,還是從經(jīng)濟發(fā)展的角度看,半導體在中國制造領(lǐng)域里都是非常重要的。
作為致力于半導體高科技生產(chǎn)服務(wù)的尚文凈化公司,所在的凈化工程行業(yè)的市場(chǎng)競爭非常激烈,而且目前也由價(jià)格競爭轉向為需方提供更多的價(jià)值競爭,在這種形勢下,尚文凈化公司更是積極地參與到政府主導的半導體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈凈化工程建設項目中來(lái)。電子級多晶硅是整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的源頭和基礎,而我國的電子級多晶硅材料長(cháng)期依賴(lài)進(jìn)口,供應受制于人,半導體材料科技有限公司電子級多晶硅的成功產(chǎn)出填補了這一空白,同時(shí)半導體公司圍繞著(zhù)主產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)服務(wù)的新項目建設拉開(kāi)了帷幕。
半導體行業(yè)要想獲得高質(zhì)量的成品,需要嚴格控制空氣中的粒子數,此時(shí),無(wú)塵車(chē)間就起到了決定性的作用。
半導體無(wú)塵車(chē)間裝修潔凈室系統技術(shù)參數:
1、壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa;
2、平均風(fēng)速:0.3-0.5m/s(百級);
3、噪聲≤65dB(A);
4、新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;
5、照度300LX;
6、溫度:20-26 度(車(chē)間),溫度:12-23度(測試)
7、濕度:50-70%RH(車(chē)間),濕度40-85%RH(測試)
8、潔凈度等級:百級-30萬(wàn)級用于測試區域,千級-30萬(wàn)級用于生產(chǎn)制造區域
9、ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內容,靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產(chǎn)品的良率。

浦東半導體凈化車(chē)間設計及注意事項
1、半導體凈化無(wú)塵車(chē)間內部要確保塵埃粒子只出不進(jìn),因此潔凈車(chē)間室內要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車(chē)間。
2、為保持恒溫與恒濕,空調設備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統使用。鼓風(fēng)機加壓多久,空調就得開(kāi)多久。
3、所有經(jīng)凈化設備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此,凈化無(wú)塵車(chē)間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀,使塵埃、細菌等在無(wú)塵凈化車(chē)間內回旋停滯的機會(huì )與時(shí)間減至程度。
4、半導體無(wú)塵車(chē)間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無(wú)塵車(chē)間的建造過(guò)程中,除了廠(chǎng)房的主體結構施工以及上述的重點(diǎn)難點(diǎn)外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風(fēng)管、過(guò)濾器的施工安裝、高純水系統及其管線(xiàn)的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線(xiàn)安裝、真空系統及其管線(xiàn)的安裝、化學(xué)品供應系統及其管線(xiàn)的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統及其處理設備的安裝、消防安全報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線(xiàn)的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設備及其配管配線(xiàn)的安裝等。

半導體凈化車(chē)間設計裝修

半導體凈化車(chē)間設計裝修

浦東無(wú)塵車(chē)間裝修

浦東無(wú)塵車(chē)間裝修

浦東凈化無(wú)塵車(chē)間裝修

浦東凈化無(wú)塵車(chē)間裝修

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